單點少子壽命測量儀系統是經濟型晶圓壽命測量儀器,對不同制備階段的硅材料電學參數進行表征。單點少子壽命測量儀可測量小于156mm厚度的晶錠,沒有自動化配置,手工操作。可增配電阻率測試功能,適合硅,晶圓片和晶錠壽命測量。
單點少子壽命測量儀特點
無接觸和非破壞的電學參數測試
對外延工藝監控和不可見缺陷檢測,具有可視化測試的分辨率
對于不同級別晶圓片,提供不同的菜單選項
單點少子壽命測量儀優勢
用于不同制備階段,從成體到最終器件,多晶硅或單晶硅單點測量載流子壽命的臺式裝置。
體積小,成本低,使用方便。擁有一個基本的軟件,結果可視化。
適用于晶圓片到晶錠,易于高度調整。

單點少子壽命測量儀技術參數











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