輔光精密儀器(上海)有限公司
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xyzθ定位平臺(tái)系統(tǒng)采用美國(guó)Aerotech公司高精度多軸多維定位臺(tái)構(gòu)造,可進(jìn)行XYZ-Theta四維位移定位,也是的xyzθ定位臺(tái)和xyzθ定位平臺(tái)系統(tǒng)
xyzθ定位平臺(tái)系統(tǒng)采用美國(guó)Aerotech公司高精度多軸多維定位臺(tái)構(gòu)造,可進(jìn)行XYZ-Theta四維位移定位,也是的xyzθ定位臺(tái)和xyzθ定位平臺(tái)系統(tǒng)。
xyzθ定位平臺(tái)采用XY位移臺(tái)實(shí)現(xiàn)XY定位,采用升降臺(tái)實(shí)現(xiàn)Z軸定位，采用旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)進(jìn)行Theta定位,采用全數(shù)字伺服控制器,從而實(shí)現(xiàn)100mm x 100mm x 16mm x 360degree的xyzθ定位，分辨率高達(dá)1nm和0.36arcsec。
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