FR-Scanner是一款緊湊的臺式工具，適合于通過測量大型基材上的薄膜和涂層的反射率來自動表征。FR-Scanner是快速，準(zhǔn)確地繪制膜的厚度，折射率，均勻性，顏色等信息的理想工具。真空吸盤可容納任何直徑/形狀的晶圓。在625個點上對8英寸Si晶片的典型掃描耗時不到60秒。光學(xué)頭遵循的設(shè)計，可容納光譜儀，混合光源和所有其他光學(xué)部件。在這種設(shè)計中，沒有任何彎曲或移動的纖維，因此，在精度，可重復(fù)性和長期穩(wěn)定性方面都保證了出色的性能。此外，特別設(shè)計的光源提供的壽命長達(dá)10000小時。
憑借其強大而的光學(xué)和機械設(shè)計，F(xiàn)R-Scanner可以旋轉(zhuǎn)載物臺并在頂部線性移動光學(xué)頭（極坐標(biāo)掃描），從而以的速度掃描被測樣品。通過這種方式，可以在非常短的時間內(nèi)記錄具有高重復(fù)性的準(zhǔn)確反射率數(shù)據(jù)，從而使FR-Scanner成為在線或在線表征加工設(shè)備中的晶圓或其他基板的理想工具。此外，笛卡爾掃描模型可以與透射率套件結(jié)合使用，并支持反射率和透射率測量。在透射模式下，還支持薄膜厚度和折射率測量（例如，用于石英或透明晶片）。
FR-Scanner 掃描型光學(xué)膜厚儀主要由以下系統(tǒng)組成：
光學(xué)光源裝置
1）小型低功率混合式光源
本系統(tǒng)混合了白熾燈和LED燈，最終形成光譜范圍360nm- 1100nm；該光源系統(tǒng)通過微處理控制，光源平均壽命超10000小時；
集成小型光譜儀，光譜范圍360-1020nm，分辨精度 3648像素CCD 和 16位 A/D 分辨精度；
2）集成式反射探針，6組透射光探針（200um），1組反射光探針，探針嵌入光源頭，可修整位置，確保探針無彎曲操作；
3）光源功率：3W；
超快掃描系統(tǒng)
1）平面坐標(biāo)內(nèi)，可進(jìn)行625次測量/分鐘 (8’’wafer) 或500次測量/分鐘(300mm wafer). 全速掃描時，掃描儀的功率消耗不超過200W；
2）樣品處理臺：樣品處理尺寸可達(dá)300mm. 可滿足所有半導(dǎo)體工藝要求的晶圓尺寸。手動調(diào)節(jié)測量高度可達(dá)25mm；配有USB通訊接口，功率：100 - 230V 115W；
FR-Monitor膜厚測試軟件系統(tǒng)，可精確計算如下參數(shù)：
1）單一或堆積膜層的厚度；
2）靜態(tài)或動態(tài)模式下，單一膜層的折射率；本軟件包含了類型豐富的材料折射率數(shù)據(jù)庫，可以有效地協(xié)助用戶進(jìn)行線下或者在線測試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率，透射率和反射率的測量，還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜，一次使用，即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測試后的結(jié)果分析使用。
參考樣片:
1）經(jīng)校準(zhǔn)過的反射標(biāo)準(zhǔn)硅片；
2）經(jīng)校準(zhǔn)過的帶有SiO2/Si 特征區(qū)域的樣片；
附件：
可定制適用于半導(dǎo)體工藝的任何尺寸的晶圓片(2", 3", 4", 5", 6", 200mm, 300mm)；
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