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　　等離子清洗機在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產品表面．以達到清洗目的．

　　真空等離子清洗機的原理表面活化增強附著力包括一個反應腔室、電源和真空泵組。樣品放置反應腔室內，真空泵開始抽氣至一定的真空度，電源啟動便產生等離子體，然后氣體通入到反應腔室，使腔室中的等離子體變成反應等離子體，這些等離子體與樣品表面發生反應，生產可揮發的副產物，并由真空泵抽出。利用等離子高能粒子與材料表面發生物理和化學反應，可以實現對材料表面進行激活、蝕刻、除污等工藝處理，以及對材料的摩擦因數、粘合和親水等各種表面性能進行改良的目的。

　　等離子清洗機的結構主要分為三個大的部分組成，分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。

　　一、控制單元

　　國內使用的等離子清洗機，包括國外進口的，控制單元主要分為半自動控制、全自動控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式。

　　而控制單元又分為兩個大的部分：

　　1）電源部分：主要電源頻率有三種，分別是40KHz、、，其中是需要電源匹配器的。

　　2）系統控制單元：分三種，按鈕控制（半自動、全自動）、電腦控制、PLC控制（液晶觸摸屏控制）。

　　二、真空腔體：

　　真空腔體主要是分為兩種材質的：

　　1）不銹鋼真空腔體。

　　2）石英腔體。

　　三、真空泵：

　　真空泵分為兩種：

　　1）干泵。

　　2）油泵。

　　采用無線電波范圍的高頻產生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內部完成清洗任務，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好；