1，封閉框架和移動工作臺設計，整體結構采用花崗巖——整體一致材料具有相同膨脹系數，有助于消除溫度變化而造成精度的不確定性。
2，采用陶瓷Z軸，全花崗巖結構——為計量室環境提供穩定精度。
3，X,Y軸采用伺服電機，滾珠絲桿傳動——確保高加速時定位。
4，預載荷空氣軸承與中心驅動——保證工作臺無摩擦運動，減少了偏差與扭矩。
5，燕尾導軌系統——運動無摩擦無磨損，保證運動穩定性。
6，光柵位置靠近導軌——確保了高重復性與復現性，阿貝誤差小！
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1，封閉框架和移動工作臺設計，整體結構采用花崗巖——整體一致材料具有相同膨脹系數，有助于消除溫度變化而造成精度的不確定性
1，封閉框架和移動工作臺設計，整體結構采用花崗巖——整體一致材料具有相同膨脹系數，有助于消除溫度變化而造成精度的不確定性。
2，采用陶瓷Z軸，全花崗巖結構——為計量室環境提供穩定精度。
3，X,Y軸采用伺服電機，滾珠絲桿傳動——確保高加速時定位。
4，預載荷空氣軸承與中心驅動——保證工作臺無摩擦運動，減少了偏差與扭矩。
5，燕尾導軌系統——運動無摩擦無磨損，保證運動穩定性。
6，光柵位置靠近導軌——確保了高重復性與復現性，阿貝誤差小！
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