EUV等離子體光譜儀是為光譜范圍高達40nm的EUV等離子體特性測量而開發的VUV光譜儀,非常適合用作真空紫外焦光入射光譜儀單色儀。
EUV等離子體光譜儀特點
-單色儀和光譜儀模式
-恒定偏轉角
-光柵精密旋轉的波長掃描
千分尺驅動進出口狹縫組件；
EUV等離子體光譜儀規格
入射角：φ=85°
衍射角：φ=81°
恒定偏差角：φ=φ±ψ=166°
光譜范圍：4–42.5nm
可更換衍射光柵：1200、600、300 G/mm
光譜儀長度：250mm
20μm入口狹縫的光譜范圍、色散和光譜分辨率（默認）：
光柵，G/mm 光譜范圍，nm 色散，nm/mm 分辨率，nm
1200 4.4-10.6 0.73-0.91 0.04
600 8.9-21.2 1.46-1.82 0.08
300 17.7-42.5 2.92-3.64 0.16
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