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可處理基片達(dá)200 mm / 8英寸

半自動(dòng)單面烘烤系統(tǒng)

設(shè)計(jì)用于：軟烘（預(yù)烤）；硬烘

HMDS（六甲基二硅氮烷）的選配：蒸氣起泡，真空干燥

HT20e加熱臺(tái)設(shè)計(jì)用于基材的單面烘烤，用于預(yù)烘烤和后烘烤或脫水烘烤過程。尤其適用于粘合劑底漆（HMDS;六甲基二硅氮烷），可用于蒸汽底漆或真空干燥的熱板模塊。帶有電子可編程升降針的烘烤模塊，配有觸摸屏，便于操作。 軟件提供了簡(jiǎn)單方便的過程控制和配方創(chuàng)建。 界面簡(jiǎn)單易于使用，可隨時(shí)控制流程。這些溫度模塊有臺(tái)式安裝式，塔式安裝式或獨(dú)立式供選擇。

設(shè)計(jì)用于以下應(yīng)用：旋涂或噴涂，顯影，烘焙和冷卻以及EBR

特點(diǎn)：

溫度模塊（電動(dòng)）

加熱板系統(tǒng)帶有電動(dòng)升降頂針

加熱板模塊（300°C）

電子驅(qū)動(dòng)的升降針

標(biāo)準(zhǔn)的頂針由不銹鋼和PEEK制成（250°C）

升降針，可編程（根據(jù)不同停止的速度和步長(zhǎng)）

加熱板表面上的真空管路用于固定基板

手動(dòng)控制加熱板的頂蓋

集成式排氣

半自動(dòng)控制器單元：

7英寸彩色觸摸屏

配方編輯器來編寫，管理和配置

實(shí)際可視化效果監(jiān)控

用于配方，流程，日志文件的庫(kù)功能（例如，錯(cuò)誤跟蹤歷史記錄）

具有密碼保護(hù)服務(wù)訪問權(quán)限的用戶管理

通過USB或Intranet連接進(jìn)行更新和備份功能

產(chǎn)品參數(shù)：

基板尺寸：直徑200毫米（直徑8英寸）圓片或200x 200毫米（8 x8英寸）方片；

溫度范圍：300°C *，以1°C/步可調(diào)；

溫度精度：在100°C時(shí)<士1°C；

升降針(1套）：直徑50 mm（直徑2英寸）到直徑200 mm（直徑8英寸）或200x 200mm（8 x8英寸）；

加熱臺(tái)表面：由硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁制成；

加熱臺(tái)頂蓋：由微拋光不銹鋼制成；

加熱臺(tái)外殼：由PP制成；

控制器單元：7寸觸摸屏；

電壓：230（110）VAC / 1Ph / N / PE / 50（60）赫茲；

CDA：8 bar，管外徑6 mm；

真空：-0.8 bar / -600bar，管外徑6 mm；

排氣爐：1 x 外徑 40毫米，80立方米/小時(shí)；

氮?dú)猓蛇x）：4土2bar，管外徑6 mm；

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