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1、 系統概述

1.1 智能嵌鎖，系統蓋板具有智能嵌鎖裝置，確保操作安全；

1.2 防腐裝置；

★1.3設有保護氣體裝置：旋涂過程中對旋轉馬達進行氣流保護；

1.4 通信接口，藍牙連接；

2、處理腔體

2.1 處理腔體內徑不小于9.5英寸 (241毫米)；

2.2 Wafer芯片尺寸至少滿足10-150mm直徑的材料，方片125x125mm，無需更換片托；

2.3 腔體具有易清潔的NPP天然聚丙烯材質；

3、 旋轉馬達

3.1 轉動速度至少滿足0-12,000rpm；

3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec；

3.3 馬達旋涂轉速穩定性能誤差不超過±1%；

4、控制系統

★4.1工藝時間設定范圍至少滿足1-5999.9sec/step ，精度不超過0.1s；

★4.2 配有高精度PLC可編程的控制器，設置點精度小于0.006%；

4.3 可存儲不少于20個程序段，每個程序段可設置不少于51個不同步驟的速度狀態；

★4.4 分辨率要小于0.5RPM，重復性誤差要小于±0.5RPM，具有國際NIST標準認證，并且無需再校準；

5、配套泵浦

5.1 配套真空泵系統：無油型 220~240伏交流，50/60赫茲；

5.2 真空吸附范圍25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可調節，抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分鐘) ；

6、系統附件

6.1 水平測試儀；

6.2 兩袋密封圈；

6.3 配有兩套可更換的廢液接收單元；

6.4 UD自動滴膠裝置：UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒；

6.5 EBR晶圓去邊，機械裝置；

邁可諾技術有限公司

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