一、設備簡介
M6 Spin Coater可旋涂處理小碎片至6英寸圓晶圓片，使用無刷直流雙向旋轉(zhuǎn)馬達控制，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定，控制器可拆卸配合手套箱使用，4.3英寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。M6 Spin Coater外形美觀，結(jié)構(gòu)緊湊，專為實驗室，研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)部門提供性價比高的勻膠涂覆設備。M6 Spin Coater在材料、化學或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。
應用領(lǐng)域
? 半導體芯片制造
? 鈣鈦礦太陽能電池制備
? 微納和微流控
? 納米薄膜
? 高分子材料
? 有機光伏
? 有機發(fā)光二極管
? 有機場效應晶體管&薄膜晶體管
? 石墨烯&二維材料
二、技術(shù)參數(shù)
▲1.保護氣體裝置：旋涂過程中對旋轉(zhuǎn)馬達進行氣流保護（可選擇取消）；
2.支持Wafer尺寸：最小標配為10 mm，可選配到3mm或5mm；到直徑6英寸（150mm）的圓片或邊長5x5英寸（125x125mm）的方片，無需更換片托；
3.設備材質(zhì)：全部采用易清潔的NPP天然聚丙烯材質(zhì)，環(huán)保，抗震，耐腐蝕；
▲4.無刷馬達：直流雙向旋轉(zhuǎn)，正反旋轉(zhuǎn)速度±100~±12000rpm，穩(wěn)定性能誤差±1rpm；
5.馬達安全模式：可設置非真空模式，轉(zhuǎn)速3000rpm，加速度500rpm/s；
6.加速度可控范圍：100-30000RPM/S；
7.工藝時間：每步可以設定45小時，精度不超過0.1秒；
8. PLC控制：4.3英寸全彩觸摸屏高精度PLC可編程的控制器；
9.程序段：可存儲99個程序段，每個程序段可設置50個不同步驟的速度狀態(tài)；
10.無油真空泵：220V/50Hz；真空吸附范圍25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可調(diào)節(jié)；
11.擴展功能：可升級預留端口，可擴展自動滴膠裝置、自動去邊裝置、手動去邊等選配項。
三、設備性能特點
馬達控制：無刷直流雙向旋轉(zhuǎn)；
智能程控：控制器可拆卸，4.3英寸寸全彩觸屏，配有智能觸碰筆，按鍵有提示音，選中功能有顏色區(qū)分，適用于手套箱；
腔體材質(zhì)：易清潔的NPP天然聚丙烯材質(zhì)，抗腐蝕性；
模式切換：可自由切換單步模式、多步模式和曲線分析圖；
防止堵膠：雙真空腔設計；
預留端口：可升級擴展其他多種選配項；
密碼功能：設有開機密碼和管理員密碼，管理員有權(quán)限修改核心參數(shù)；
安全報警：系統(tǒng)蓋板嵌鎖、真空異常、通氣異常、系統(tǒng)進膠、馬達轉(zhuǎn)速異常均會報警，通過聲音和界面對話框提示；
氣流保護：旋涂過程中對馬達進行氣流保護（也可選擇取消），易維護，易清潔，大幅提高馬達使用壽命；
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