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CNI v3.0小型納米壓印機 UV納米壓印機 真空納米壓印 小型納米壓印機 紫外納米壓印

產品二維碼
參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準
  • 產品型號:CNI v3.0
  • 品牌:
  • 產品類別:實驗儀器
  • 所在地:
  • 信息完整度:
  • 樣本:
  • 更新時間:2022-09-16 09:55:59
  • 瀏覽次數:16
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產品簡介

CNIv3.0是一種非常靈活的納米壓印機

詳情介紹

CNI v3.0是一種非常靈活的納米壓印機。它可提供加熱型納米壓印、UV紫外納米壓印以及真空納米壓印。模塊化系統可根據特定需求輕松配置,體積小,容易存放,可處理210mm(8英寸)圓形的任何尺寸印章和基材。該系統是手動裝卸印章和模板,但所有處理器都是全自動的,專用軟件用戶可以*控制壓印過程。

特色:

  • 體積小巧,容易存放,桌面型;
  • 輕微復制微米和納米級結構;
  • 熱壓印溫度高達200℃;
  • 可選的高溫模塊,適用于250℃;
  • UV納米壓印,365nm曝光;
  • 可選的UV模塊,適用于405nm曝光;
  • 真空納米壓印(腔室可抽真空至0.1mbar);
  • 納米壓印壓力高達11bar;
  • 溫度分布均勻、讀數精準;
  • 筆記本電腦全自動控制,工藝配方編輯簡單,*靈活控制,自動記錄數據;
  • 直徑210mm(圓形)腔室;
  • 腔室高度為20mm;
  • 即插即用
  • 使用簡單直觀
  • 專為研發而設計
  • 提供安裝和操作教程視頻

在過去的五年中,基于石墨烯的氣體傳感器引起了很大的興趣,顯示出了單分子檢測的優勢。 最近的研究表明,與未構圖的層相比,構圖石墨烯可大大提高靈敏度.

通過標準程序生長CVD石墨烯,然后轉移到Si/SiO 2模板上進行進一步處理。 如(Mackenzie,2D Materials,使用物理陰影掩模和激光燒蝕來定義接觸和器件區域。

使用軟壓印在CNI v2.0中進行熱納米壓印光刻,將mr-I7010E壓印抗蝕劑在130℃,6bar壓力下壓印10分鐘,壓力在70℃下釋放。

通過反應離子蝕刻將邊緣到邊緣間隔為120-150nm的大面積圖案的孔轉移到石墨烯中,并且用丙酮除去殘留的抗蝕劑。

發現器件具有大約的載流子遷移率發現器件在加工前具有約2000cm2/Vs的載流子遷移率,之后具有400cm2/Vs的載流子遷移率處理,同時保持整體低摻雜水平。



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