特點(diǎn)
-
高電壓范圍大
±40V，滿足NVM測試技術(shù)條件 -
高電壓變化率快
1000V/uS，可產(chǎn)生較快邊沿的高壓脈沖源 -
標(biāo)準(zhǔn)脈沖模式
三電平脈沖，周期：40ns~10S -
延遲可調(diào)整
時(shí)間：0~9.999S，分辨率：2.5ns -
高速測量
500MS/S，及時(shí)診斷出負(fù)載阻抗 -
脈沖數(shù)可調(diào)
范圍：1~100,000個(gè) -
電壓檢測*小采樣周期
5us -
電平定時(shí)觸發(fā)
TTL電平，脈沖周期同步
-
S3023P單通道高壓脈沖源工作條件：
溫度23℃±5℃
濕度30%至70%相對濕度 預(yù)熱60分鐘后測量，測量時(shí)環(huán)境溫度變化小于±3°C
校準(zhǔn)周期1年
測量速度1PLC
| 項(xiàng)目 | 測試條件 | 技術(shù)指標(biāo) | 備注 |
| 電壓幅值 | 50?負(fù)載 | -20V ~ +20V | |
| 開路 | -40V ~ +40V | ||
| 電壓幅值分辨率 | 50?負(fù)載 | 0.2mV | |Vout| ≤ 5V |
| 0.8mV | 0.5V ≤|Vout| ≤ 20V | ||
| | 0.4mV | |Vout| ≤ 10V | |
| 1.6mV | 10V≤|Vout| ≤ 40V | ||
| 輸出接口 | | SMA | |
| 內(nèi)阻 | | 50? ± 1% | |
| 輸出短路電流 | | 800mA 峰值（400mA均值） | |
| 輸出過沖（振鈴） | 50?負(fù)載 | ±（5%+20mV） | |
脈沖或直流輸出電壓指標(biāo)（均以50?終端負(fù)載，應(yīng)是開環(huán)控制指標(biāo)，高速脈沖）
| 項(xiàng)目 | 子項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) | 備注 |
| 頻率范圍 | | 0.1 ~ 33MHz | |
| 脈沖周期 | 可編程范圍 | 40ns ~ 10S | |
| 分辨率 | 10ns | | |
| *小周期 | 100ns | Vamp ≤ 10V | |
| 精度 | ±1%（0.01%+200ps） | | |
| 脈沖寬度 | 可編程范圍 | 20ns ~(脈沖周期 -10nS) | |
| 分辨率 | 2.5ns | Vamp<10V | |
| 20ns | Vamp>10V | ||
| *小值(10%~90%邊沿) | 120ns | | |
| 精度 | ±（3%+2ns） | | |
| 脈沖過程時(shí)間（Tr和Tf） | 可編程范圍 | 20ns ~ 400ms | |
| 分辨率 | 2ns | Tr+Tf≤10us | |
| 20ns | Tr+Tf＞10us | ||
| *小值(10%~90%邊沿) | 30ns | Vamp≤ 5V | |
| 35ns | Vamp≤ 10V | ||
| 40ns | Vamp≤ 20V | ||
| 60ns | Vamp> 20V | ||
| 精度 | -5%~+5%+25ns | Vamp≤ 10V | |
| -5%~+5%+40ns | Vamp≤ 20V |
SPGU補(bǔ)充指標(biāo)
| 項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) | 測試條件 |
| 脈沖寬度抖動 | 0.001%+150pS | |
| 脈沖周期抖動 | 0.001%+150pS | |
| *大電壓擺率 | 1000V/uS | Vamp=40V(50? Load) |
| 輸出噪聲 | 20mVrms | |
| **功能： | ||
| 電壓監(jiān)測 | SPGU監(jiān)測測試單元終端電壓 | |
| 測量精度 | ±（0.1%+25mV） | |
| 測量分辨率 | 50uV | |
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