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大尺寸樣品正置式顯微鏡Axio Imager Vario特點(diǎn)：

兩種手動和一種電動機(jī)柱（配有符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三個(gè)模式控制按鈕）可供選擇，充分   利用顯微鏡*大 300 mm 橫向與縱向移動距離和*高 254 mm 垂直深度的優(yōu)勢。

Axio Imager Vario 能通過物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動來聚焦樣品。這就意味著，即便是較重的樣品，也可以獲得高精準(zhǔn)聚焦精度和可重復(fù)性。

借助自動聚焦硬件，您可以精準(zhǔn)快速地聚焦低對比度的反射樣品。

Axio Imager Vario 與 LSM 700 組合應(yīng)用，以高分辨率無接觸地分析敏感樣品。

Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并滿足潔超凈室等級 5 的要求。

                 晶圓