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        PZCY系列濾芯專為氧化物CMP、鎢CMP及銅CMP中塊狀顆粒及膠體過濾設(shè)計，采用連續(xù)漸變孔徑深層過濾技術(shù)，實現(xiàn)分級過濾，是濾芯具有高納污空間，大大延長了使用壽命。

優(yōu)點特性

•         梯度式精度，深層過濾技術(shù)，濾膜孔徑由外到內(nèi)逐漸減小，截留大顆粒，放行有效顆粒，增加有效過濾面積，提高納污量，從而延長濾芯使用壽命
•         采用純聚丙烯結(jié)構(gòu)，非接觸熱熔焊接技術(shù)，控制了過濾過程中的析出問題，具有廣泛的化學(xué)相容性

        EPTY系列濾芯專門針對CMP研磨精密過濾設(shè)計，能有效攔截漿料中大顆粒，放行有效顆粒，保證研磨液中顆粒大小的均勻性。穩(wěn)定性，采用非對稱膜結(jié)構(gòu)，使濾芯具有的納污能力。

優(yōu)點特性

•         采用雙層PES膜結(jié)構(gòu)，保證超高過濾效率，能準(zhǔn)確攔截大顆粒，放行有小顆粒
•         采用非對稱微孔膜梯度孔徑結(jié)構(gòu)，極大提升過濾性能，增大濾芯納污量，提高使用壽命
•         采用PP骨架、PES濾膜，具有優(yōu)異的化學(xué)相容性