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德國Diener Bell Jar 35 研究型等離子清洗機(jī)

基本設(shè)備:

。外殼約寬560MMx高1640MMx深620mm

。腔室容積：約35升

。供電電源：230V/16A



氣源:

。3個(gè)質(zhì)量流量控制器（MFCs）



控制系統(tǒng):

。PCCE控制系統(tǒng)（Microsoft Windows XPe）





發(fā)生器:

。頻率：40KHz, 功率 0-500W

13.56MHz, 功率 0-300W

。直流偏置電源或單極性脈沖，功率300W，電壓600V，直流電

。發(fā)生器為 0-99% 無級可調(diào)型

真空腔室:

。硼硅玻璃材質(zhì)的玻璃罩，直徑315MMx高500MM



真空泵:

。規(guī)格和制造商均各有不同（按照活性炭過濾器的需要）



濺射源:

。1個(gè)濺射源2"-3"+擋板（可為反應(yīng)過程選配排煙管和進(jìn)氣口）



基材支架:

。直徑140MM（可選擇旋轉(zhuǎn)型，基材加熱器，基材冷卻裝置）

。可切換為等離子預(yù)處現(xiàn)的電極（清洗，活化，蝕刻）





壓力測量:

。Pirani



其它選項(xiàng):

備件套件，壓力計(jì)，腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，氣瓶，減壓器，加熱板，溫度顯示器，加熱型腔室，F(xiàn)araday Box, 等離子體聚合配件，試墨水，氧氣發(fā)生器，慢速通風(fēng)裝置，慢速抽吸裝置，TEM樣品架法蘭，維護(hù)/服務(wù)，當(dāng)?shù)卣Z言的文件，現(xiàn)場安裝，包括培訓(xùn)，可應(yīng)需求提供的其它選項(xiàng)。