項目類別 : 曝光機
項目名稱 : CCD自動對位曝光機
項目介紹 :
A.一般規格 曝光系統 光源：鹵化金屬燈，輸出功率5KW，雙燈 均勻度：≥85%（min/max) 強度：40mw/cm² 有效曝光面積：546*622mm Panel規格 尺寸：254*304.8mm至558.8*635mm(10*12"至22"*25") 厚度：0.05mm(不含銅)至2.0mm 玻璃尺寸 上：L800*W718*8t 下：L716*W628*8t PCB靠操作面中間對位 曝光作業 雙面曝光/內層板用底片CCD自動對位系統，每片確認。對準精度±10um 底片尺寸 24"*27" Cycle Time:機械動作12秒+真空延遲+曝光時間 密合模式 真空密合，真空度-300~-500mmHg(附表顯示) 操作方式 操作系統：PC系統+PLC+人機界面 機臺尺寸 外部尺寸：2962L*2622W*2040H mm 輸送面高度：1040mm+50mm(卸下輪子高度可降980) 機臺重量：3000Kg 公用系統 電力：AC380V 3φ 50/60Hz 24KVA 氣壓源：5~6Kg/cm2 冰水系統：7~11℃，60-80L/min B.系統架構 Panel傳送系統 進出料傳動：滾輪帶動PCB 進料定位：二段式靠邊定位，前緣利用滾輪慢速傳動定位， 側邊以伺服馬達靠邊定位 曝光室進出移載：配合線性滑軌，以伺服馬達帶動移載機構 移載機取置：氣缸帶動取置架上下，真空吸盤組依板寬手動調整 曝光臺框 玻璃對玻璃方式采用高UV透光率玻璃 上臺框由伺服馬達帶動開關，上下框間由四支定位銷定位 底片吸附在臺面真空槽，PCB以下臺框真空吸附 靜電消除 于進料段裝置上下靜電消除棒 冷卻 燈源冷卻：氣冷，內循環直接氣冷；燈管壽命保固800小時 燈室冷卻：燈頭部份為空氣冷卻，燈管為間接氣冷 曝光室冷卻：氣冷，抽取曝光室內空氣，經HEPA過濾后，再經冰水排系統冷卻吹入曝光室內，保持曝光室內溫度，并控制臺面溫度 臺面溫度22℃±2℃ 潔凈控制 機臺使用99.97%~99.99%HEPA Filter 客戶潔凈室等級需求：Class 10000 UV光源監控 光源保護：UV點燈/熄燈/重點燈保護 功率控制：強弱燈切換 狀態監視：內建電壓、員流、功率及UV強度感測顯示 遮光器：旋轉開啟，裝置于燈室內，由馬達帶動 曝光監控：內建UV能量積算顯示 KW數切換 2KW、5KW切換 對位方式 4靶標CCD影像對位 底片固定 臺面玻璃溝槽吸真空 調整機構 微步進馬達驅動上臺框微調機構 控制方式 自動對位及觸控式熒幕PC+PLC 視覺光源 LED式CCD背光組 底片對位精度 ±10μm內(不含漲縮) 備注 外觀為不銹鋼
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