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等離子體化學(xué)反應(yīng)過程中，等離子體傳遞化學(xué)能量的反應(yīng)過程中能量的傳遞大致如下：

(1) 電場＋電子→高能電子 

(2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團

(3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱

(4) 活性基團＋活性基團→生成物+熱

低溫等離子體技術(shù)處理有機廢氣具有以下優(yōu)點：

①能耗低，可在室溫下與催化劑反應(yīng)，無需加熱，極大地節(jié)約了能源；

②使用便利，設(shè)計時可以根據(jù)風(fēng)量變化以及現(xiàn)場條件進行調(diào)節(jié)；

③不產(chǎn)生副產(chǎn)物，催化劑可選擇性地降解等離子體反應(yīng)中所產(chǎn)生的副產(chǎn)物；

缺點是：

①對水蒸氣比較敏感，當(dāng)水蒸氣含量高于5％時處理效率及效果將受到影響；

②對含粉塵氣體比較敏感，處理效率明顯降低。