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廣東射頻等離子清洗機原理 手機模組蝕刻機

PT-10S

腔體材質： 不銹鋼表面處理

供電電源： AC220V

工作電流： 整機工作電流不大于1.2A(不含真空泵)

射頻電源功率： 0-500W可調

射頻頻率： 40KHZ（偏移量小于0.2KHz）/ 13.56MHz

頻率偏移量： 小于0.2KHz

特性阻抗： 50歐姆，自動匹配

真空度： 1pa-30Pa

氣體路數： 雙路氣體輸入

氣體流量： 10—300ml/min(可調)

過程控制： PLC人機界面自動與手動方式

清洗時間： 1-99999秒鐘可調

功率大小 10%-99%可調

內腔尺寸 220 ×280×180mm 10L

外形尺寸： 650 ×550×440mm

真空泵： 2XZ-4（抽速4L/S）

真空室溫度： 小于30°C

冷卻方式： 強制風冷