射頻等離子清洗機(jī)原理 手機(jī)模組蝕刻機(jī)
型號:PT-15S
供電電源: AC220V
工作電流: 整機(jī)工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
射頻電源功率: 0-600W
射頻頻率: 40KHZ或13.56MHz選裝 (偏移量小于0.2KHz)
頻率偏移量: 小于0.2KHz
特性阻抗: 50歐姆,自動匹配
真空度: 30Pa—100Pa
氣體流量: 10—100ml/min(可調(diào))
過程控制: MCU自動與手動方式
清洗時間: 1-99999秒鐘可調(diào)
功率大小 10%-99%可調(diào)
內(nèi)腔尺寸 200mm×150mm×400mm
外形尺寸: PT-15S型_650520500
重量: 45Kg
真空泵: 2XZ-6
真空室溫度: 小于65°C
冷卻方式: 強(qiáng)制風(fēng)
















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