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射頻等離子清洗機(jī)原理 手機(jī)模組蝕刻機(jī)

型號：PT-15S

供電電源： AC220V

工作電流： 整機(jī)工作電流不大于1.2A(不含真空泵)

射頻電源功率： 0-600W

射頻頻率： 40KHZ或13.56MHz選裝 （偏移量小于0.2KHz）

頻率偏移量： 小于0.2KHz

特性阻抗： 50歐姆，自動匹配

真空度： 30Pa—100Pa

氣體流量： 10—100ml/min(可調(diào))

過程控制： MCU自動與手動方式

清洗時間： 1-99999秒鐘可調(diào)

功率大小 10%-99%可調(diào)

內(nèi)腔尺寸 200mm×150mm×400mm

外形尺寸： PT-15S型_650520500

重量： 45Kg

真空泵： 2XZ-6

真空室溫度： 小于65°C

冷卻方式： 強(qiáng)制風(fēng)