科研專用臺式小型等離子清洗機 PDMS表面處理
小型等離子清洗機
PT-5S型是雙路氣體輸入,不銹鋼艙體:Φ150mm×270mm
容量:5升
供電電源: AC220V
工作電流: 整機工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
射頻電源功率: 300W
射頻頻率: 40KHz或13.56MHz 選裝(偏移量小于0.2KHz)
頻率偏移量: 小于0.2KHz
特性阻抗: 50歐姆,自動匹配
真空度: 10Pa—1000Pa
氣體流量: 60—600ml/min(可調)
過程控制: MCU自動與手動方式
清洗時間: 1-100分鐘可調
功率大小 10%-99%可調
外形尺寸: PT-5S型_400x450x250
重量: 36.5Kg
真空泵: 2XZ-4
真空室溫度: 小于65°C
冷卻方式: 強制風冷
| 仟漁 |
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