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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號：泵和氣體管路加熱系統(tǒng) 加熱器
品牌：
產(chǎn)品類別：加熱器
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更新時間：2023-07-02 21:15:44
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Watlow的燃氣管路加熱器旨在調(diào)節(jié)燃氣管路中的溫度，以防止燃氣管路中出現(xiàn)冷凝

詳情介紹

Watlow 的燃氣管路加熱器旨在調(diào)節(jié)燃氣管路中的溫度，以防止燃氣管路中出現(xiàn)冷凝。

原硅酸四乙酯 (TEOS)、三氯化硼 (BCl3)、氯化鋁 (AlCl3)、 (ClF3) 和二氯硅烷 (DCS) 是由于低溫相移而冷凝或液化的氣體。在半導體工藝中，冷凝發(fā)生在氣體管線中，并在注入真空室之前在噴頭中形成水坑。如果將液化氣體注入真空室，將會出現(xiàn)大量晶片缺陷。使用氣體管線加熱器均勻加熱管線將防止冷凝。TEOS 管線通常加熱到 194°F (90°C) 以上，BCl3 加熱到 86°F (30°C) 以上，具體取決于壓力和流速。生產(chǎn)線溫度會因工藝參數(shù)而異。

仟漁

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