日本KOSAKA小坂探針式輪廓儀ET4000A
全自動精密形狀測量機，精度高，穩定性好，功能強，適合測量FPD基板，晶圓，硬盤等精細形狀，臺階，粗糙度。 另外，根據應用，可以從多種型號中進行選擇。
ET 4000 A···多功能全自動精密形狀測量機
ET 4000 L···全自動精細形狀測量機，可以處理大尺寸
ET 4000 M···合理的高性能通用精密形狀測量機
KOSAKA小坂研究所型號大全：
輪廓形狀測定機SEF580-G18
輪廓形狀測定機SEF580-G18D
表面粗糙度儀SEF580-M50
表面粗糙度儀SEF580-M58
表面粗糙度儀SEF580-M58D
表面粗糙度輪廓測定機 SEF680
多維粗糙度輪廓測定機SE680K31
臺階儀ET200
探針式輪廓儀ET4000
探針式輪廓儀ET4000A
探針式輪廓儀ET4000L
探針式輪廓儀ET4000M
臺階儀ET5000
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