CVD系統由供氣系統+管式爐+抽氣系統 ,溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。
OTL-CVD-1200-SCVD系統是由3路供氣系統+OTL1200-S管式爐+真空系統組成 OTL-CVD-1200-SCVD系統以進口電阻絲瑞典(Canthal)為加熱元件,采用雙層殼體結構和日本島電控溫儀表,能進行40段程序控溫,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點,是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品。
(1)、表面溫度高可達1420℃
(2)、表面為不銹鋼色(非常亮、客戶識別時要注意)、不會生銹,使用時間再長都不會掉渣。
(3)、電阻均衡、溫場均衡性好
(4)、加熱元件:瑞典Kanthal A1 進口電阻絲 (電阻絲可承諾保修2年)
當電路過流或漏電時,空開會自動斷開
該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升 溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出真空度。
(1)、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
(2)、采用成型。
(3)、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場
(4)、采用4周加熱,溫場更加均衡
(全部通過UL認證的進口電器)







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