SEM-Base VI的優勢--
硬式安裝技術– SEM-Base VI與所有內部SEM振動控制系統兼容，并積極地減輕了從0.6 Hz開始的低頻地板振動。
主動慣性振動消除– SEM-Base VI使用高靈敏度，低頻慣性速度傳感器，即使在安靜的地板上也能實現高水平的振動衰減。
壓電技術的串行設計–的串行設計和高壓壓電技術可實現從0.6 Hz到150 Hz的寬有源帶寬，以及無yu倫比的慣性有源振動消除功能，從2 Hz開始可降低90％。
性能指標
| 主動自由度 | 6 |
| 有效帶寬 | 0.6赫茲-100赫茲 |
| 被動固有頻率 | 額定12 Hz |
| 有效有源諧振頻率 | 0.5赫茲 |
| 1 Hz時的隔離 | 40％-70％ |
| 2 Hz時的隔離 | 90％ |
| 隔離度≥3Hz | 90-98％ |
| 內部噪音 | 均方根<0.1 nm |
| 工作負荷范圍 | 標準容量：900-2,500磅（408-1134千克） 高容量：2,500-3,200磅（1134-1452千克） |
| 距平臺 4英寸（102毫米） 處發出的磁場 | <0.02μg寬帶rms |
設計，尺寸以及環境和公用事業要求
| 環境與安全 | 符合CE和RoHS |
| 有源隔離元件 | 小3300磅（1500千克）容量的壓電執行器從高壓放大器接收信號，輸出功率高達800 VDC。垂直執行器支持隔離的有效負載。 |
| 被動隔離元件 | 單硬質彈性體（無需壓縮空氣供應） |
| 振動傳感器元件 | 向下的地震檢波器型慣性傳感器 ，用于測量隔離器下方的地面振動， 并提供與振動速度成比例的電壓 |
| 主動反饋控制回路 | 在 支撐隔離表面的彈簧下方對地板振動進行測量，處理和衰減 |
| 尺寸（寬x深） | 35.25 x 44.25英寸 895 x 1124毫米 |
| 高度 | 標稱6.3英寸（160毫米）， 關閉SEM-Base時不會改變 |
| 工作溫度 | 50°-90°F 10°-32°攝氏度 |
| 儲存溫度 | -40°-130°F -40°-55°C |
| 濕度 | <80％@ 68°華氏度| 20°C，露點18°C |
| 系統電源要求 | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz交流; <600 w CE認證 |
| 地板位移 | <800微英寸 10 Hz以下（20μm） |
內置控制器規格
| 處理器 | 150/75 MHz雙核 |
| 采樣率 | 10 kHz的 |
| 模擬量輸出 | 16個頻道 |
| 模擬量輸入 | 16個頻道 |
| 狀態燈 | 單顆LED |
| 前面板端口 | 1個串行USB 2.0 1個串行Micro-USB 1個以太網RJ-45 2個BNC |
| 用戶界面 | 用于Microsoft Windows 嵌入式以太網GUI的 終端 擴展GUI上的前面板LCD顯示字符菜單 |
SEM-Base/STACIS 主動地面消振系統
為從掃描電子顯微鏡（SEM/FIB）到大型透射電子顯微鏡（TEM/Cryo-TEM/STEM）的所有商用帶電束射工具提供實時主動消除地面振動的系統。
Mag-NetX 主動磁場消除系統
可在獨立式籠，外殼安裝或壁掛式結構因子中，Mag-NetX主動監測并實時消除交流和直流場的波動，確保它們不會干擾電子顯微鏡的磁透鏡。
關于TMC
TMC為納米技術設計和制造的建筑地面隔振系統。TMC隔離器支持超測量、儀器和制造。我們繼續于行業的主動、慣性振動消除系統，具有壓電驅動器和數字控制器。我們的無源產品范圍從簡單的、桌面隔離顯微鏡底座，到幾乎任何尺寸的光學表系統。
TMC產品讓光子學、半導體制造、生命科學、發現和納米技術等領域的超研究、測量和制造成為可能。我們的產品是在的、垂直一體化的制造設施中設計和制造的，并以提供服務的客戶承諾為后盾。
TMC是阿美特克超測量部門成員，阿美特克是電子儀器和機電設備的，年銷售額約為50億美金。為材料分析、超測量、過程分析、測試測量與通訊、電力系統與儀器、儀表與控制、運動控制、電子元器件與封裝、特種金屬產品等領域提供技術解決方案。共有18,000多名員工，150多家工廠，在美國及其它30多個設立了100多個銷售及服務中心。
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