INFICON薄膜沉積監(jiān)測儀IMM-100
特征
INFICON ModeLock 技術(shù)提供最長的晶體壽命，并確保、分辨率和可用的厚度測量，即使在非常低的速率下
通過的 QCM 厚度測量限度地提高產(chǎn)量
單通道速率和厚度監(jiān)測器，沒有不必要的附加功能，以限度地降低成本
± Hz 超過 100 ms 樣本
用于無縫集成的 EtherCAT 通信
緊湊的尺寸通過節(jié)省工具空間來限度地降低集成成本
專家應(yīng)用支持，能夠討論的應(yīng)用需求并提供比競爭對手更大的支持
符合 RoHS
典型應(yīng)用
OLED應(yīng)用
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