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INFICON薄膜沉積控制器IC6

特征

• INFICON ModeLock 技術(shù)可確保、分辨率和可用的厚度測(cè)量，即使在非常低的速率下

• Auto Z 通過(guò)在材料沉積時(shí)自動(dòng)確定 Z 比來(lái)提高厚度精度

• 同時(shí)共沉積多達(dá)六個(gè)源

• 彩色 TFT LCD 顯示屏使您可以輕松查看過(guò)程中發(fā)生的情況

• +/- Hz 超過(guò) 100 毫秒采樣

• 用于屏幕截圖、配方存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)記錄的 USB 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

• 強(qiáng)大的 I/O，可以靈活地集成到簡(jiǎn)單或復(fù)雜的系統(tǒng)中（使用可擴(kuò)展的輸入 (28) 和輸出（24 個(gè)繼電器，14 個(gè) TTL 輸出），并使用邏輯功能（100 個(gè)邏輯語(yǔ)句）

• 6 個(gè) DAC 輸出標(biāo)準(zhǔn)，6 個(gè)附加可選用于源控制、速率或厚度監(jiān)控

• 最多可容納 50 個(gè)進(jìn)程，每個(gè)進(jìn)程 200 層，進(jìn)程最多可鏈接到 10,000 層

• 多傳感器平均多達(dá) 8 個(gè)傳感器

• 4 米 XIU 選項(xiàng)提供了在大型系統(tǒng)中使用長(zhǎng)真空傳感器電纜的能力

• 可選以太網(wǎng)通信

• 可選的 IC6 配置編輯器軟件（部件號(hào) 781-620-G1） - 基于 LabVIEW® 的 Windows® 軟件，允許離線(xiàn)創(chuàng)建和編輯 IC6 配置文件并將 IC/5 配置文件轉(zhuǎn)換為 IC6 格式。

• 符合 RoHS

典型應(yīng)用

• 光學(xué)鍍膜