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Watlow 的燃?xì)夤苈芳訜崞髦荚谡{(diào)節(jié)燃?xì)夤苈分械臏囟龋苑乐谷細(xì)夤苈分谐霈F(xiàn)冷凝。
原硅酸四乙酯 (TEOS)、三氯化硼 (BCl3)、氯化鋁 (AlCl3)、 (ClF3) 和二氯硅烷 (DCS) 是由于低溫相移而冷凝或液化的氣體。在半導(dǎo)體工藝中，冷凝發(fā)生在氣體管線中，并在注入真空室之前在噴頭中形成水坑。如果將液化氣體注入真空室，將會(huì)出現(xiàn)大量晶片缺陷。使用氣體管線加熱器均勻加熱管線將防止冷凝。TEOS 管線通常加熱到 194°F (90°C) 以上，BCl3 加熱到 86°F (30°C) 以上，具體取決于壓力和流速。生產(chǎn)線溫度會(huì)因工藝參數(shù)而異。
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