在半導(dǎo)體制造中進(jìn)行的薄膜沉積工藝中，需要以微米為單位進(jìn)行成膜。
溫度控制也是控制要沉積的擴(kuò)散氣體的蒸氣壓的重要項(xiàng)目。
我們的電子冷熱恒溫槽實(shí)現(xiàn)了百分之一的溫度控制，在氣相沉積工藝上有很多成就。
此外，它在需要精細(xì)溫度控制的應(yīng)用中也很有效，例如在物理、化學(xué)和制藥領(lǐng)域。
主要特點(diǎn)
-罐內(nèi)液體溫度通過電子冷卻方式控制在-～℃范圍內(nèi)。
? 高分辨率溫度顯示 ℃ (1/100 ℃)
? 通過的液體循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)了高溫穩(wěn)定性 (± ℃)。
? 內(nèi)部開發(fā)的高精度溫度控制器。
-水箱和控制單元是分開的。
適合并入各種設(shè)備。
-通訊功能 RS-232C / RS-485（可選） 除了
溫度設(shè)定和運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控外，還可以遠(yuǎn)程操作運(yùn)行/停止。
便于使用包含多個(gè)單元的 CVD 設(shè)備進(jìn)行集中操作。
【主要規(guī)格】
| 控制方式 | 水冷式電子散熱方式（Pelche 方式） |
|---|---|
| 設(shè)定溫度范圍 | --℃ |
| 溫度指示/設(shè)定分辨率 | ℃ |
| 溫度穩(wěn)定性*1 | ±℃ |
| 以上條件 | 環(huán)境溫度 23 ℃ 環(huán)境濕度 55% RH 冷卻水溫度 25 ℃ 液體介質(zhì) GALDEN HT200 * 2 罐內(nèi)無(wú)熱負(fù)荷。 |
| 通訊功能（可選） | RS-232C/RS-485 運(yùn)行監(jiān)控、溫度設(shè)置以及 運(yùn)行/停止均可遠(yuǎn)程操作。 |
| 工作環(huán)境溫度 | 5～35℃ |
| 冷卻水溫度 | 18～30℃（標(biāo)準(zhǔn)：25℃） |
| 冷卻水流量 | /min（根據(jù)設(shè)定溫度可調(diào)） |
| 電源供應(yīng) | 單相 AC200V 4A 50 / 60Hz |
| 可用液體介質(zhì) | 氟系介質(zhì) 防凍液等 蒸餾水 |
| 多種保護(hù)功能 | 自診斷功能 異常/報(bào)警輸出（繼電器輸出） |
| 水族箱內(nèi)尺寸 (mm) | ?250×430H（液位400H） 有效容積： |
| 水箱外形尺寸（mm） | 321W x 321D x 580H（不包括突出部分） |
| 控制單元外形尺寸 (mm) | 260W x 362D x 147H（不包括突出部分） |
| 仟漁 | https:/// |
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