DF-560E可提供的超微量級O2檢測
DF-560E具有45 ppt(萬億分級)的檢測限 (LDL),能為超高純 (UHP) 電子工業級氣體的質量控制應用提供半導體行業的氧氣 (O2) 測量性能。
以檢測限提供超微量級O2測量
DF-560E能以超低檢測限提供超微量級測量,為半導體行業提供的45ppt LDL。該產品應用靈活且適應性強,不僅能在多種背景氣體中有效監測O2,還支持多種數據記錄格式。
DF-560E采用仕富梅超穩定的庫侖電量法傳感技術,能滿足復雜工況應用的要求,在多變的樣氣和流量條件下仍能快速響應。
精心設計,簡單易用
DF-560E針對易用性和便攜性等方面都進行了優化設計,理想適用于半導體制造和分析車應用。通過前面板和數字通信都能對分析儀進行操作,還能提供多種手提選件以便攜帶。
DF-560E采用出廠時預先標定的非損耗型庫侖電量法傳感技術,具有高性價比的設置和配置,從而有效降低使用成本。后續維護僅需每年一次量程標定,無需更換可編程測量池
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