[概述]
-傳感器真空計系列的離子計。
-離子計（熱陰極電離真空計）具有良好的重現性和線性度，并且可以測量各種壓力，這是真空計的一項出色功能。
-傳感器使用微型儀表（MG-2I型）。
[特點]
-寬壓力測量范圍。
?可以在超過濺射工藝的低真空區域進行10至7功率Pa至10 Pa的測量，而不會犧牲超高真空側的特性。
-高響應模擬輸出。
-壓力值模擬信號輸出可確保100毫秒內的高響應度，也可用于過程壓力控制。
?四種發射電流設置模式。
-可以根據用途進行選擇，例如在高壓區域側使用時可以改善燈絲壽命。
-節省空間和低功耗。
[應用]
-生產真空設備的壓力測量。
-半導體濺射設備的壓力測量。
?各種真空裝置。
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