1.非接觸測量和高靈敏度
旋轉軸的振動或偏心，小滾珠軸承的徑向游隙可以不接觸測量。采用非接觸式測量時，電容傳感器具有平均效應，可以減小工件表面粗糙度對測量的影響。
2.結構簡單
電感式傳感器結構簡單，制造容易，精度高。它可以很小的實現一些測量。能在高溫、強輻射和強磁場等惡劣環境下工作，能承受大量的溫度變化，能承受高壓、高沖擊、過載等。它能測量高溫與低壓的差，以及磁功。
3.良好的溫度穩定性
電容式傳感器的電容值一般不受電極材料的影響，有利于選擇溫度系數較低的材料，且由于加熱量極小，對穩定性影響不大。電阻傳感器有銅損耗，容易產生零漂熱。
4.良好的動態響應
感應式傳感器由于帶電極板之間的靜電引力很小（約有幾個10^（5）N），對能量的作用很大，而且由于其運動部分能做得很小很薄，質量很輕，所以其固有頻率很高，動態響應時間短，能在幾兆赫的頻率下工作，特別適用于動態測量。而且由于其介質損耗小，可以使用高頻電源，所以系統工作頻率高。它可以用來測量高速變化的參數。
