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半導(dǎo)體行業(yè)SEMI F47測試

2026年02月17日 14:20:00      來源:上海伊測電子科技有限公司 >> 進(jìn)入該公司展臺      閱讀量:10

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半導(dǎo)體行業(yè)SEMI F47測試

                                                                                                —IT7800如何輕松編輯電壓瞬降波形

    相信大家都有所了解,半導(dǎo)體制造廠商對供電有著的要求,特別是對于電力供應(yīng)品質(zhì)要求更高的晶圓相關(guān)產(chǎn)業(yè),一旦發(fā)生電壓瞬降,不僅對敏感的微電腦自動控制設(shè)備造成不可預(yù)期的傷害,也會使制程中斷,而產(chǎn)生極大的損失。為了能保護(hù)敏感的設(shè)備能夠免于電壓瞬降的危害,SEMI F47 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體制程設(shè)備對電壓瞬降的耐受等級,要求對通常發(fā)生在交流電網(wǎng)中的電壓驟降具有“免 疫 力”。


    何謂SEMI F47電壓瞬降測試?電壓瞬降通常是指負(fù)載端電壓值降到額定電壓值的 90%以下,并持續(xù)0.5~60個周期,而SEMI F47是半導(dǎo)體制程設(shè)備電壓暫降抗擾度規(guī)范。在SEMI F47-0706中,以50Hz為例,電壓為50%標(biāo)稱值時為10周、電壓為 70%標(biāo)稱值時為25周、電壓為80%標(biāo)稱值時為50周。一些晶圓廠會要求更高等級的耐受,相較F47-0200增加電壓瞬降的耐受時間或強(qiáng)度,在電壓為0%標(biāo)稱值時為1周,電壓為80%標(biāo)稱值時為500周。

    艾德克斯始終致力于提供以功率電子為核心的專業(yè)測試測量解決方案,全新一代交流電源產(chǎn)品系列 IT7800大功率可編程電源、IT7900/P回饋式電網(wǎng)模擬器擁有強(qiáng)大的任意波形編輯功能,除了內(nèi)置的IEC61000-4-11/4-13/4-14/4-28 等法規(guī)波形外,還可以模擬諧波/間諧波及各種復(fù)雜的電網(wǎng)擾動波形,是測試和實(shí)驗(yàn)室的理想選擇。

    以下是某客戶的測試需求:

SEMI F47 法規(guī)測試
三相輸出,其中一相 1 個周期 50Hz(20ms)的瞬降(0V)

解決方案:通常大家可能會想到用 List 功能來編輯此波形,這是可以的,然而對于非整數(shù)周期,像是60Hz(16.7ms),計算每個單步的持續(xù)時間就相對復(fù)雜。此時我們可以考慮用突波/陷波功能來輕松實(shí)現(xiàn)。

IT7800/7900/P系列電源提供突波/陷波的模擬功能,用戶可以根據(jù)需求在輸出的波形基礎(chǔ)上加上突波/陷波來模擬電路系統(tǒng)中電壓的異常波動,而且突波/陷波可以疊加在任意基礎(chǔ)波形上,設(shè)置如下:



實(shí)測波形如下:可以看到 A 相跌落到 0,持續(xù)時間 1 個周期,每 5 個周期出現(xiàn)一次。



IT7800大功率可編程交流電源、IT7900/7900P回饋式電網(wǎng)模擬器在 3U 的有限空間里面,提供了高達(dá)15kVA 的功率輸出。單個機(jī)柜功率*大可達(dá) 165kVA,*多可擴(kuò)展至 960kVA。同時相電壓輸出達(dá) 350V,具有 AC/DC/AC+DC/DC+AC四種輸出模式,單相,三相及反相等靈活輸出能力。適用于新能源、軌道交通、半導(dǎo)體及科研院校等多個領(lǐng)域的研發(fā)、生產(chǎn)、質(zhì)檢階段。IT7900電網(wǎng)模擬器還具有孤島保護(hù)測試功能,可用于并網(wǎng)逆變器、儲能PCS測試;IT7900P除了可以作為電網(wǎng)模擬器和全四象限功率放大器使用,同時也是一臺回饋式的交/直流電子負(fù)載。了解更多可聯(lián)系我們。


IT7900P回饋式電網(wǎng)模擬器基本特點(diǎn)
高功率密度,2U可達(dá)6kVA ,3U可達(dá)15kVA
電壓可達(dá)350 VL-N
高效的能量回饋
主從均流,并機(jī)可達(dá)960kVA 
*1
內(nèi)建豐富的波形數(shù)據(jù)庫
支持單相/三相/反相/反相模式下電壓可擴(kuò)展至200%額定電壓
支持NORMAL/LIST/SWEEP,任意一種模式均可以疊加Surge&Sag功能
觸摸屏設(shè)計,簡潔的UI界面
相位角0~360°可設(shè)
高達(dá)50次的諧波模擬和分析功能,內(nèi)置IEC61000-3-2/3-12等測試法規(guī) *2

可模擬任意波形輸出,支持CSV文件導(dǎo)入波形
選配電流源選件 *3

內(nèi)置USB/CAN/LAN/數(shù)字IO,選配GPIB/模擬量&RS232接口
多種保護(hù)功能,包括自動清保護(hù)、瞬時過電壓保護(hù)POVP、軟件看門狗等

IT7900P回饋式電網(wǎng)模擬器源特點(diǎn)
全四象限回饋式電網(wǎng)模擬器
輸出頻率:16~2400Hz *4

功率放大器,適用于功率硬件在環(huán)(PHiL)測試
專業(yè)孤島測試模式,支持R/L/C及有功、無功功率設(shè)定
可實(shí)現(xiàn)AC/DC/AC+DC/DC+AC四種輸出模式
多通道功能,單機(jī)可同時測試1~3個待測物 *5
可編程輸出阻抗,模擬電力線路阻抗
諧波/間諧波波形合成
鎖頻和鎖相功能,實(shí)現(xiàn)6相/12相電源輸出
滿足低電壓穿越,相位跳變,頻率變動、諧波注入等并網(wǎng)法規(guī)測試
內(nèi)置IEC61000-4-11/4-13/4-14/4-28等法規(guī)波形測試
提供豐富的觸發(fā)配置,同步捕獲待測物電壓波形,實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的采集與仿真功能
選配專業(yè)軟件,配合多國**法規(guī)測試條件設(shè)立程序,可完成民用航空電子及IEC相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的測試 *3

IT7900P回饋式電網(wǎng)模擬器載特點(diǎn)
全四象限回饋式交/直流電子負(fù)載
輸出頻率:16-500Hz
AC模式下支持CC/CP/CR/CS/CC+CR/CE多種工作模式,
CE模式可以模擬單相整流RLC和并聯(lián)RLC等多種電路拓?fù)?/span>
DC模式下支持CC/CR/CP/CV等9種工作模式
AC模式下支持整流和非整流兩種模式
可調(diào)節(jié)波峰因數(shù):1.414 ~ 5.0
支持相移功能,范圍為-180o~180.0o *6
單位功率因數(shù)1功能可以使電流波形隨電壓波形變化,功率因數(shù)盡可能接近為1
支持抽載與卸除角度控制,0-359°全范圍都可設(shè)定

*1 1U/2U*多可并16臺,3U機(jī)型*多可并64臺
*2 電壓/電流諧波分析,源模式下電壓諧波模擬,載模式下電流諧波模擬,基波≤60Hz
*3 即將發(fā)布
*4 電網(wǎng)模擬器和孤島模擬模式下,16~150Hz
*5 單相機(jī)型不具備多通道功能
*6 開啟整流功能后,相移的設(shè)置范圍受峰值因數(shù)的約束
*7 1U/2U機(jī)型即將發(fā)布

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