紫外臭氧清洗機常用于掃描探測顯微鏡的樣品應用，該設備能用于清洗原子力顯微鏡探針，掃描探針顯微鏡標準和表面上常規的油漬層和殘留的無機材料，也能用來改變物體表面的疏水性，有助于部件和表面的化學改性，經過氧化和硬化處理的探針有利于在掃描過程中保持探針的幾何形狀，削尖的探針有利于提高側向分辨率。臭氧清洗機設備已經用于納米技術，化學，生物學，光學，電子學，半導體和其他范圍內的科學實驗室。
紫外光表面改質：低壓紫外汞燈發射的185nm和254nm波長的紫外光除有清洗去除物體表面的有機污染物的功能外，而且還能夠進行表面改質。其基本原理為：光子能量把物體的表層分子鍵打開的同時拉出H原子和C原子，與空氣中的氧氣分解出來的活性氧（O）生成極性很強的原子團（OH，CHO，COOH）即羥基等活性基，同時材料表面有機污染物的清洗，活化的基體表面具有良好的粘合力和鍵合特性，這些羥基和涂料、粘合劑、電鍍材料相結合，形成新的化學鍵，從而使材料表面得到通常情況下得不到的很強的粘結強度，或者使料得到穩定的表面性能。
紫外臭氧清洗機安全注意事項：
設備使用人員應熟悉操作的所有方面，并應使用適當的安全防范措施。
1.暴露于高強度紫外線（UV）光的風險：設備會發出強烈的紫外光。不要把可能受到紫外線損壞的材料暴露光源下！
2.化學品暴露危險：設備產生臭氧，一種強烈的刺激性氣體，可能會產生中毒。雖然臭氧的半衰期相對較短，但仍然應謹慎使用。有條件可以放在通風柜中使用。紫外燈管是汞燈，特別注意防止汞泄漏。
3.觸電危險：設備的輸出電壓幾千伏，是致命的。此外，電源包含電容，可能持有剩余電荷，儀器即使在斷開電源下仍能暫時發光。當紫外燈燈損壞或破損時切勿使用儀器！請勿使用液體！請勿拆解，修改或嘗試修復此設備！
4.火災或爆炸的風險：切勿使用易燃液體，氣體或材料！
