用于純氣中雜質(zhì)氣體分析的氣相色譜檢測(cè)器主要有以下幾種：
1、熱傳導(dǎo)池檢測(cè)器(TCD)
該檢測(cè)器的指標(biāo)可以達(dá)到ppm級(jí)檢測(cè)。與變溫濃縮法配合可以檢測(cè)到ppb級(jí)，例如高純氫氣，超純氫的檢測(cè)可以測(cè)到0.1ppb(0.1x10-9V/V)級(jí)。
2、氣敏檢測(cè)器
在檢測(cè)高純氮?dú)獾膰?guó)家標(biāo)準(zhǔn)(GB/T8980-1996)中用此檢測(cè)器可以檢測(cè)到此0.1ppm雜質(zhì)氫氣。
3、氫火焰離子化檢測(cè)器(FID)
國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)(GB/T8984.1-3-1997)氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳烴化合物的測(cè)定是利用火焰離子化法轉(zhuǎn)化后，直接測(cè)定,可檢測(cè)zui小濃度0.1ppm。配合變溫濃縮可測(cè)到1 ppb。
4、改性離子檢測(cè)器(M-ArID)
將氬離子化檢測(cè)器改性后可以檢測(cè)高純氬中的氫、氧、氮、甲烷、一氧化碳和二氧化碳雜質(zhì)氣，zui小檢測(cè)濃度可到0.1ppm。
5、氦離子化檢測(cè)器(HeID)
該檢測(cè)器大多使用檢測(cè)高純氦氣中雜質(zhì)氣體，直接檢測(cè)可到1ppb [3，16] 。也有與切換技術(shù)配合檢測(cè)其它高純氣中雜質(zhì)氣[15]。
6、電子捕獲檢測(cè)器(ECD)
該檢測(cè)器可以檢測(cè)高純氮?dú)狻鍤狻⒁谎趸嫉葰庵械暮哿垦?ppb級(jí))。
7、另外還有氧化鋯檢測(cè)器、離子遷移檢測(cè)器等。
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