島津氦質譜檢漏儀能為不同的應用提供廣泛的測試方法，含有渦輪分子泵、內置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。島津氦質譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用,例如,在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、衛星、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。
島津氦質譜檢漏儀進展的集中體現在如下幾個方面：
?。?）便攜式：zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。
?。?）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。
?。?）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。
?。?）檢漏范圍寬：現今生產的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。
島津氦質譜檢漏儀時，產生測量誤差的主要來源主要包括8個方面：
首先，氦質譜檢漏儀在校準靈敏度時，標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標準漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會導致經二者進入檢漏儀的氦氣量可比性差。
第二，進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數值而導致無法換算，這時也會產生漏率測量誤差。
第三，所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。
第四，氦質譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關系差。
第五，校準靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時，所用標準漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。
第六，檢漏儀的性能不穩定。
第七，氦氣純度不穩定或存在誤差。
第八，之后也就是檢漏操作人員的因素，包括素質、責任心、技術水平以及工作經驗等。
