純化水設備采用反滲透，EDI等新工藝，比較有針對性地設計出成套高純水處理工藝，以滿足藥廠、醫院的純化水制取、大輸液制取的用水要求。為了保證其工作性能穩定，周期維護清洗工作一定要嚴格執行。那么純化水設備維護清洗有哪些步驟呢？
1、配制清洗液
將藥劑加入潔凈的水中，且配制用水必須是去除硬度、不含過度金屬和余氯的RO產品水或去離子水。保證溶液要混和均勻，并且把溫度和PH調到所需要的值。
2、低流量輸入清洗液
首先用清洗水泵混合一遍清洗液，預熱清洗液時應以低流量。然后以盡可能低的清洗液壓力置換元件內的原水，其壓力僅需達到足以補充進水至濃水的壓力損失即可，即壓力必須低到不會產生明顯的滲透產水。低壓置換操作能夠限度的減低污垢再次沉淀到膜表面，視情況而定，排放部分濃水以防止清洗液稀釋。
3、循環
當原水被置換掉后，濃水管路中就應該出現清洗液，讓清洗液循環回清洗水箱并保證清洗液溫度恒定。
4、浸泡
停止清洗泵的運行，讓膜元件浸泡在清洗液中。有時元件浸泡1小時就足夠了，但對于頑固的污染物，需要延長浸泡時間，如浸泡10～15小時或浸泡過夜。為了維持浸泡過程的溫度，可采用很低的循環流量。
5、高流量水泵循環
高流量能沖洗掉被清洗液洗下來的污染物。如果污染嚴重，請采用高于表1所規定的50%的流量將有助于清洗，在高流量條件下，將會出現過高壓降的問題，單元件允許的壓降為1bar(15psi)，對多元件壓力容器允許壓降為3.5bar(50psi)，以先超出為限。
6、沖洗
用清潔水(去除硬度、不含金屬離子如鐵和氯的RO產品水或去離子水)進行低壓沖洗，沖洗系統內的清洗液可以用預處理的合格產水，除非存在腐蝕問題。為了防止沉淀，沖洗溫度為20度
