一、清洗的要求和原理 當多效蒸餾水機在使用過程中發現產水量有明顯的下降，或在例行檢查中發現塔內有明顯結垢時，即應進行清洗。 形成水垢的原因主要是進料水中殘存的無機鹽長時間與設備內壁接觸、在較高的溫度和壓力下形成的。
二、水垢的種類及對應的清洗劑 多效蒸餾水機中產生的水垢主要有兩種，一種是鍋爐水垢，另一種是二氧化硅水垢，清洗時應采用不同的清洗劑： 1、對鍋爐水垢，可用氨基磺酸（NH2SO2OH），使用時用去離子水配制成濃度為1％的清洗溶液，其PH值在所1~2之間，并加熱到60℃左右。也可用磷酸（H3PO4），使用時用去離子水配制成2％濃度的清洗溶液，并加熱到65℃左右。
2、對二氧化硅水垢，可采用二氟化銨（NH4HF2），使用時用去離子水配制成濃度為1.5％的溶液，并加熱到50℃~60℃。 也可采有用氫氧化鈉＋陰離子活性劑，配制成濃度為10％的清洗液，并加熱到60℃左右。 在化學清洗方法去除上述兩種水垢時，不少用戶還采用市售的通用型不銹鋼清洗劑，效果不錯，使用也較方便。 在使用酸性溶液清洗以后，一般還要求使用中和溶液進行中和。中和溶液的配制方法如下： 在去離子水中加入0.5%的小蘇打（HaHCO3）和0.1%陰離子界面活性劑。
三、清洗用設備 清洗前要準備好設備，主要有： 1、貯罐 其容量應大于低所需的清洗液用量。為安全起見，貯罐應設蓋。蓋上裝有視鏡（觀察清洗溶液回流情況）和通氣孔。 貯罐應有加熱功能，如加熱夾套或浸入式加熱器。應注意的是，不能直接用鍋爐蒸汽或蒸餾水機引出的純蒸汽加熱清洗溶液，這樣會改變清洗液的濃度。
2、循環耐酸泵 采用壓頭為2.5kg~3kg、流量為100升／分鐘的耐酸泵。
3、連接軟管 用于把清洗用貯罐和蒸餾水機連接成清洗回路，軟管應耐酸耐壓。
4、閥門 用于切斷清洗液以及調節清洗液流量。
