集成電路元器件的線路縮小,耐壓降低,線路面積減小,使得器件耐靜電沖擊能力的減弱,靜電電場(Static Electric Field)和靜電電流(ESDcurrent)成為這些高密度元器件的致命殺手。同時大量的塑料制品等高絕緣材料的普遍應(yīng)用,導(dǎo)致產(chǎn)生靜電的機(jī)會大增。日常生活中 如走動,空氣流動,搬運(yùn)等都能產(chǎn)生靜電。人們一般認(rèn)為只有CMOS類的晶片才對靜電敏感,實 際上,集成度高的元器件電路都很敏感。
A.靜電對電子元件的影響
① 靜電吸附灰塵,改變線路間的阻抗,影響產(chǎn)品的功能與壽命。
② 因電場或電流破壞元件的絕緣或?qū)w,使元件不能工作(破壞)。
③ 因瞬間的電場或電流產(chǎn)生的熱,元件受傷,仍能工作,壽命受損。
B、靜電損傷的特點:
① 隱蔽性人體不能直接感知靜電,除非發(fā)生靜電放電,但發(fā)生靜電放電,人體也不一定能有電擊的感覺。這是因為人體感知的靜電放電電壓為2-3KV。
② 潛伏性有些電子元器件受到靜電損傷后性能沒有明顯的下降,但多次累加放電會給器件造成內(nèi)傷而形成隱患,而且增加了器件對靜電的敏感性。已產(chǎn)生的問題并無任何方法可。
③ 隨機(jī)性電子元件什么情況下會遭受到靜電破壞呢?可以這么說,從一個元件生產(chǎn)后一直到它損壞以前所有的過程都受到靜電的威脅,而這些靜電的產(chǎn)生也具有隨機(jī)性。由于靜電的產(chǎn)生和放電都是瞬間發(fā)生的,及難預(yù)測和防護(hù)。
④ 復(fù)雜性靜電放電損傷分板工作,因電子產(chǎn)品的精細(xì),微小的結(jié)構(gòu)特點而費時、費事、費錢,要求較復(fù)雜的技術(shù)往往需要使用掃描電鏡等精密儀器,即使如此有些靜電損傷現(xiàn)象也 難以與其他原因造成的損傷加以區(qū)別,使人誤把靜電損傷失效當(dāng)作其它失效,這是對靜電放電損害未充分認(rèn)識之前,常常歸咎于早期失效或情況不明的失效 ,從而不自覺的掩蓋了失效的真正原因。
⑤ 嚴(yán)重性ESD問題表面上看來只影響了制成品的用家,但實際上亦影響了各層次的制造商,如:保用費、維修及公司的聲譽(yù)等等。
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