德國(guó)CS進(jìn)口露點(diǎn)傳感器 - FA 510/515在半導(dǎo)體廠監(jiān)控氮?dú)夤┙o體系中的使用

半導(dǎo)體廠的氮?dú)夤?yīng)方式取決于用氣規(guī)劃、氮?dú)獬霎a(chǎn)工廠間隔、工廠是零散分布或是群聚設(shè)置運(yùn)用不同的供氣方式，常見(jiàn)如桶槽供應(yīng)方式、鋼瓶供應(yīng)方式、管道供應(yīng)方式、用氣端供應(yīng)方式等。不管任何一種供應(yīng)方式，都必須由運(yùn)送系統(tǒng)之氮?dú)赓A存容器，如高壓鋼瓶，或吸附式的氣體貯存鋼瓶，再透過(guò)管路將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場(chǎng)附近的閥箱，進(jìn)行流量之控制與進(jìn)氣的混合比例控制，再供應(yīng)給制程后端機(jī)器運(yùn)用。

為抵達(dá)氮?dú)膺\(yùn)用的規(guī)范，一般會(huì)設(shè)備露點(diǎn)傳感器在氣體傳送至冷凍干燥機(jī)前端，也可設(shè)備在烘烤凈晶圓體前，如此一來(lái)可以更精準(zhǔn)的監(jiān)控氮?dú)膺\(yùn)送進(jìn)程的露點(diǎn)值保持在極低濕的程度，以前進(jìn)制程中的良率。

在半導(dǎo)體工業(yè)運(yùn)用的氮?dú)獯蠖鄷?huì)直觸摸摸電子零件，純度需抵達(dá)ppm、ppb級(jí)，潔凈度則為塵土粒徑控制小于0.1 … 0.05m，干燥度抵達(dá)壓力露點(diǎn)-40℃ … -70℃。

為抵達(dá)氮?dú)膺\(yùn)用的規(guī)范，一般會(huì)設(shè)備露點(diǎn)傳感器在氣體傳送至冷凍干燥機(jī)前端，也可設(shè)備在烘烤凈晶圓體前，如此一來(lái)可以更精準(zhǔn)的監(jiān)控氮?dú)膺\(yùn)送進(jìn)程的露點(diǎn)值保持在極低濕的程度，以前進(jìn)制程中的良率。

德國(guó)CS進(jìn)口露點(diǎn)傳感器 - FA 510/515

露點(diǎn)探頭特點(diǎn)：用于測(cè)量壓縮空氣和氣體中的殘留水分；測(cè)量范圍 -80 ... + 20℃或 -20 ... + 50℃。技術(shù)指標(biāo)：壓力范圍：-1...50bar；特殊版本高達(dá)350bar

德國(guó)CS進(jìn)口露點(diǎn)傳感器 - FA 510/515

剩余濕度測(cè)量范圍從 -80 至+ 20°Ctd或 -20 ... + 50°Ctd。新特點(diǎn)：帶 Modbus-RTU 接口。

用于測(cè)量冷凍式干燥機(jī) -80 至 +20°Ctd 或-20至+50°Ctd的濕度

新一代露點(diǎn)傳感器另配有常用的 4...20 mA 模擬量輸出、RS 485 數(shù)字接口 (Modbus-RTU)。露點(diǎn)傳感器通過(guò)這個(gè) RS 485 數(shù)字接口測(cè)到和計(jì)算的所有測(cè)量值均可通過(guò) Modbus 協(xié)議調(diào)取，如露點(diǎn)、溫度、濕度等。

傳感器和分析設(shè)備在舊版本的基礎(chǔ)上做了進(jìn)一步的改進(jìn)。尤其是集成了經(jīng)改良的溫度補(bǔ)償器，提高了各種環(huán)境溫度下的準(zhǔn)確度并增強(qiáng)了傳感器信號(hào)的分辨率。如同舊版本一樣，新式露點(diǎn)傳感器已經(jīng)表現(xiàn)出了長(zhǎng)久穩(wěn)定且可靠的測(cè)量值。傳感器元件抗結(jié)霜，因此標(biāo)配不銹鋼燒結(jié)帽，防止直接接觸雜質(zhì)顆粒。

FA 510/515 - 德國(guó)CS露點(diǎn)傳感器露點(diǎn)探頭監(jiān)測(cè)吸附式干燥機(jī)的特別優(yōu)勢(shì)：

測(cè)量范圍 -80...+20°Ctd或 -20 ... + 50°Ctd

長(zhǎng)期使用極其穩(wěn)定

模擬量輸出 4...20 mA

抗結(jié)霜

適應(yīng)時(shí)間短

耐壓高達(dá) 350 bar（特殊版本）

新特點(diǎn)：Modbus-RTU 接口

新特點(diǎn)：通過(guò)改進(jìn)的電子分析裝置實(shí)現(xiàn)更高的傳感器信號(hào)分辨率

新特點(diǎn)：使用手持式設(shè)備或 CS 服務(wù)軟件在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行傳感器診斷