粒子計數(shù)器是用來測量潔凈環(huán)境中單位體積內(nèi)塵埃粒子數(shù)和粒徑分布的儀器。其基本原理就是光學傳感器的探測激光經(jīng)塵埃粒子散射后被光敏元件接收并產(chǎn)生脈沖信號，該脈沖信號被輸出并且放大，然后進行數(shù)字信號處理，通過跟標準粒子信號進行比較，將對比結(jié)果用不同的參數(shù)表示出來。
粒子計數(shù)器選購時應該考慮的問題及因素:
1、預計收集什么類型的數(shù)據(jù)?將這些信息記錄為簡單的合格/不合格?還是將信息記錄到電子表格或數(shù)據(jù)庫中?
2、粒子計數(shù)器將用于什么類型的環(huán)境是將其期于ISO3級潔凈室進行常規(guī)顆粒計數(shù),還是將其用于驗證流動的關鍵I藝過程?
3、這個粒子計數(shù)器是否會被用于認證潔凈室和從測試完-個位置以后然后到另-個位置?
4、操作人員是否將塵埃粒子計數(shù)器放在周圍，是將其放置在關鍵的工藝的工作臺上,還是將其安裝在可以移動的小車上?
5、粒子計數(shù)器是否會被用來進行連續(xù)的動態(tài)的潔凈室粒子監(jiān)測?粒子計數(shù)器是否打算與環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)連接?
6、靈敏度:可檢測的小尺寸的顆粒。
7、計數(shù)效率:測量的顆粒濃度與真實顆粒濃度的比率。使用更靈敏的儀器測量真實的顆粒濃度，在被測儀器的小顆粒尺寸下計數(shù)效率為為之百。設計合理的儀器應具有50%的計數(shù)效率。
8、零計數(shù)水平或虛假計數(shù)速率:使用經(jīng)過濾的空氣以佳流速持續(xù)給定的時間量的錯誤報告的顆粒的數(shù)量。這個正確的報告是每5分鐘的粒子數(shù)量。(期望的零計數(shù)率應該小于每5分鐘1次)
9、流速:這是通過粒子計數(shù)器的空氣量。這通常以每分鐘立方英尺表示。常見的流量為1.0 cfm和0.1cfm。流星越大，抽空氣的泵越大，粒子計數(shù)器越大。
10、通道:這是根據(jù)計算的每個顆粒的相應尺寸，顆粒所放入的”箱”的數(shù)量。通道以微米表示。例如，你可能有一個6道的粒子計數(shù)器。這意味著可以在6個不同的通道中對粒子進行計數(shù)和分類。通道的實例是:0.1um,0.2um,0.3um,0.5um,1.0um,5.0um。
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