在目前檢測氧濃度的方法中，有很多的方法都可以檢測到氧氣濃度，比如電化學、順磁氧、氧化鋯方法及超聲波流量濃度檢測法。但用于制氧機行業的主要有氧化鋯法。
氧化鋯測氧法原理：穩定氧化鋯在高溫下呈現的離子導電現象。在氧化鋯電解質(ZrO2管)的兩側面分別燒結上多孔鉑（Pt）電極。
檢測方式是通過導引管，將被測氣體導入氧化鋯檢測室，再通過加熱元件把氧化鋯加熱到工作溫度（700℃以上）。氧化鋯一般采用管狀，電極采用多孔鉑電極。其優點是不受檢測氣體溫度的影響，通過采用不同的導流管可以檢測各種溫度氣體中的氧含量，這種靈活性被運用在許多工業在線檢測上。其缺點是反應時間慢；結構復雜，容易影響檢測精度；加熱器一般用電爐絲加熱，壽命不長。
電化學原理：電化學傳感器通過與被測氣體發生反應并產生與氣體濃度成正比的電信號來工作。典型的電化學傳感器由傳感電極（或工作電極）和反電極組成，并由一個薄電解層隔開。 氣體首先通過微小的毛管型開孔與傳感器發生反應，*終到達電極表面。通過電極間連接的電阻器，與被測氣濃度成正比的電流會在正極與負極間流動。測量該電流即可確定氣體濃度。
結論：
二種傳感器的檢測氧氣的方式各有優缺點，但在實際制氧機行業應用和測試中，氧化鋯傳感器氧氣流量濃度傳感器具有，壽命長、無消耗、免維護。尤其是免維護免校準，減少了*終用戶對儀器性能的疑問。其次連續檢測，具有流量、濃度同時測量的特點，有助于今后儀器功能的升級。比如今后流量、濃度數字顯示。經過長期測試，氧化鋯傳感器是能夠滿足制氧機的濃度檢測需要。
電化學傳感器雖然檢測精度*高，但壽命和經常需要校準的特點不適用于制氧機行業，*終客戶沒有能力校準。所以不建議大規模運用。
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