智能型HMDS系統真空泵，HMDS涂膠機干泵說明
IDP-10 渦旋式干泵是一款緊湊、高性能的無油真空泵，易于維護。在世 界各地不同的頻率和輸入電壓下，變頻驅動電機均可提供均一的真空性能。
密封設計（電機和所有軸承與真空環路隔開）延長了軸承的使用壽命， 還可提供潔凈、無油的真空條件。可選的集成入口保護閥內置于泵模塊中， 可根據需要使用，不會額外增加泵的高度。
智能型HMDS系統真空泵，HMDS涂膠機干泵技術性能
抽速 全速條件下 170 L/min (10.2 m3/h)
介質 | 氣體 |
極限壓力 | 2.0 × 10-2 mbar (1.5 × 10-2 Torr) |
入口壓力 | 1.0 個大氣壓 (0 psig) |
推薦的連續入口壓力 | 2.0 × 10-2 mbar (1.5 × 10-2 Torr) |
標稱電壓下出口壓力 | 1.34 個大氣壓 (5 psig) |
入口連接 | NW25 |
排氣口連接 | NW16 |
氣鎮 | 0.25 英寸美國標準管內螺紋（提供 20 µm燒結插頭） |
SAE-2 5/16-24 | |
根據 Pneurop 6602 處理水蒸氣 | 120 g/h |
運行環境溫度 | 5-40 °C （41-104 °F） |
儲存溫度 | –20-60 °C (–4-140 °F) |
馬達額定功率 | 0.5 HP (350 W)； 3? 變頻驅動 |
工作電壓 | 100-127； 200-240 VAC， 50/60 Hz |
馬達熱保護 | 自動熱保護 |
工作速度 | 63.33 Hz： 1900 rpm； 45 Hz： 1350 rpm |
冷卻系統 | 風冷 |
重量 | 僅泵： 24.74 kg （54.5 磅），運輸重量： 28.1 kg （62 磅） |
尺寸（高 × 寬 × 長 (mm)） | 297 × 260 × 420 |
泄漏速度（密封排氣口時） | < 1 × 10-6 sccs (1 × 10-6 mbar.l/s) |
噪音水平 | 53 +/- 2 dB (A) |
入口處振動水平 | 7 mms-1 rms |
計時器 | 提供一體式計時器 |
輻射與抗擾性 | EN 61236-1:2013，屬 A 類設備 |
安全性 | 通過 EN/IEC 61010 第 3 版認證 |
HMDS預處理系統通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料預處理及相關行業。
