英諾賽科成功導入ASML光刻機
2021年12月8日，英諾賽科（珠海）科技有限公司為ASML光刻機成功導入8英寸硅基氮化鎵量產線舉辦了慶典。英諾賽科于2021年引入ASML光刻機，憑借著其的成像性能和的TWINSCAN架構（雙晶圓工件平臺），英諾賽科進一步提升了硅基氮化鎵功率器件制造的產能及產線良率。此次慶典上，ASML副總裁兼中國區總經理沈波代表ASML被英諾賽科授予“戰略合作伙伴”稱號。
晶瑞電材：公司已購得KrF光刻機
晶瑞電材表示，公司近期已購得KrF光刻機一臺，可用于KrF光刻膠的曝光測試，同時公司KrF光刻膠（光刻膠厭氧烘箱）量產化生產線正在積極建設中。
此前，晶瑞電材已經購得用于負膠、g線、i線、ArF等4臺光刻機，再加之此次購得的KrF光刻機，晶瑞電材已經到位5臺光刻機。
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