直到19世紀末，六氟化硫(化學分子式為SF6)即使對于化學家來說也還是一種陌生的化合物。人們在自然界中未發現它的存在。
1900年法國Moisson和Lebeau***次用元素硫和氟氣直接反應合成出SF6氣體并對其物理化學性質進行了初步研究，發現SF6是一種可以與氮氣和其他惰性氣體相比擬的化學上極穩定的物質，而且具有優異的電氣絕緣能力。
SF6氣體檢漏儀
本世紀三十年代后，隨著科學技術的發展，SF6氣體日益引起人們的興趣和關注，并對其進行了大量的科學實驗研究工作。
1937年法國***先將SF6應用于高壓絕緣電氣設備。西德在此期間也開始了該領域的研究工作，并于1964年推出臺220KVSF6斷路器。進入六十年代，SF6電器絕緣設備的*性已為世人，各發達國家競相研制開發該類型設備。法、日、西德、美國、瑞士等國的大型電氣設備制造公司相繼研制開發出多種類型和等級的SF6氣體絕緣(GIS)設備。僅1971年至1976年世界生產之GIS設備就增長了近10倍。
以SF6為介質的電器有斷路器，高壓開關、電壓互感器、電流互感器、避雷器、全封閉組合電器、變壓器、充氣電纜等幾乎無所不包，電壓等級已突破1000kV，至今其發展勢頭不衰。
我國六十年代開始研制SF6電氣設備，各種等級型號的國產和進口設備陸續投入運行。進入八十年代機械電力部門已將SF6電氣設備作為電網裝備更新換代的主要目標。可以預見SF6電器設備在我國必將得到日益廣泛的應用，具有廣泛的發展前景。
此外，六氟化硫氣體在高能物質領域也有重要應用，例如我國剛剛通過***驗收(1987.8.14)的大型串列加速器，端電壓13兆伏一次充入的絕緣氣體(SF6)量為23噸。在鑄造冶金行業，SF6作為新型的熔煉保護氣氛業已普片應用。至于SF6早已在氣象、環境部門(作為示蹤氣體)以及在醫學方面(人工氣胸)的應用則更不待言。
