SF6斷路器常見的故障有：
（1）SF6斷路器SF6氣體水分值超標。一般可以采取三種方法和措施加以處理：①抽真空、充高純氮氣、干燥SF6氣體；②外掛吸附罐；③解體大修。
（2）運行一段時間后部分SFSF6斷路器發生頻繁告警或閉鎖信號時（一般10天左右一次），預示著該SF6斷路器年漏率遠遠超過l％。檢修中為了縮短停電時間，一般采用合格的備品相（柱）替代運行中漏氣相（柱），而利用其他不停電時間對漏氣相（柱）進行處理。
HDWS-142 精密SF6露點分析儀
（3）500kV斷路器用的合閘電阻投切機構失靈，不能有效地提高投入。造成這種情況的主要原因是投切機構***性不高。
（4）操動機構頻繁打壓。油泵頻繁啟動，除檢查機構無外漏，主要反映在閥門系統內部有明顯泄漏。處理時可將油壓升到額定壓力后，切斷油泵電源，將箱中油放盡，打開油箱蓋，仔細觀察何處泄漏。在查明原因后，將油壓釋放到零后，有的放矢地解體檢查。另外，對液壓油液需要進行過濾處理，以減少雜質影響。
（5）在斷路器調試過程中，分、合閘時間及周期性不滿足要求。主要是通過調節后、合閘電磁鐵間隙及供、排油閥來實現。
HDWS-242 微機型SF6微水測量儀
（6）蓄能器中氮氣壓力低或進油。運行人員在巡視過程中比較直觀的現象是油壓過低或過高現象。處理方法是將蓄能筒內部氣體放盡后，卸下活塞內部密封圈，仔細檢查密封圈的唇口和簡體內壁，對損壞的密封圈應予以更換，對筒壁有稍許拉毛的，可用砂條進行少許圓周向修磨，直到宏觀上看不出沿軸向有拉毛痕跡為止，對嚴重拉毛的需要更換。
