六氟化硫原氣和使用在SF6電氣設備中氣體的干燥，是提高SF6氣體絕緣、滅弧性能，***設備正常運行的重要環節。SF6電氣設備充入的新氣要求水分含量在， 8ppm (重量)以下，運行的設備中如果水分含量超過I5Oppm就會影響設備的正常運轉。
HDWS-II SF6微水測試儀
設備中氣體的主要來源是:六氟化硫原氣中包含的水分、安裝時進去的水分、有機絕緣材料 中析出的水分、透過密封材料進人的水分。要水分的這四種來源從技術上看是辦不到的，所以只有采取在設備內放入干燥劑或把設備內氣體循環通過裝有干燥劑凈化器的辦法來控制電氣設備內氣體水分含量。六氟化硫電氣設備內氣體干燥與共它氣體干燥相比具有如下特點:
a.氣體水分含及要求低。
b.設備內空間狹小，且有振動。
c.設備內水分是與其它雜質共存于氣體中。
d.設備檢修周期長。
e.設備內絕緣氣體不應因裝入吸附干燥劑而影響其電氣性能。
f.設備運行中，當開關開斷時會產生瞬間高溫。
