對于大型的新生產廠商，通常是很容易作出不再以氣柜作為氣體供應和分配的決定。但是這對于較小的半導體制造商并不容易。BOCEdwards公司產品經理MikeMarmaro說:“有一個不錯的經驗規律：直到每分鐘50標準立升為止，氣柜都是有效的。只要超過此標準，你就需要增加多個氣柜或者一套特殊的大宗氣體系統?！?br>
如果依據需要，以大宗氣體系統取代多個氣柜，正如MikeMarmaro指出的，一套可取代六個氣柜的大宗氣體系統并沒有六倍那么貴。他說：“而且產品本身的價格也可帶來經濟效益，購買的體積越大，則相對越便宜。”
但是這些效益并不意味著現有的加工廠必須著手改變他們已有的氣體配送方式。美國Air Liquid Electronics公司行銷主管IsabelleLauzon說：“只要達到一定條件，對他們來說，制造300mm硅片比繼續生產200mm的硅片更便宜，客戶們就會轉向300mm硅片。當公司建立新的加工基地時，正是他們采用*新工藝的機會，這就是為什么我們看到越來越多的大宗氣體和化學制品配送系統的原因?！?br>
大宗氣體配送系統的另一個優點是明顯減少了更換鋼瓶的需要。這個優點體現在兩個方面。**，連接和重接越少，加工氣體被污染的可能性就越小──一個直接影響生產的問題。**，較低的更換頻率明顯減少了員工暴露于這些有害物質中的可能性。
即使具有這些優點，仍然存在許多挑戰和大宗特種氣體配送系統所必需的安全措施。從使用氣柜為單一設備供氣到使用大宗系統為多個設備供氣，這一轉變意味著系統的可靠性比以往任何時候都重要。
BOC Edwards公司的阿拉巴馬州Huntsville辦事處技術經理BillTucker說：“一個氣柜對應一臺設備的時代已經過去了。我們看到越來越多的客戶希望設備提供冗余，這樣，如果失去部分氣源，他們依然可以維持安全生產。我們至少已提供六臺冗余系統，但是它們只是特別針對我們客戶的，他們需要這些系統因為他們不希望任何設備在任何情況下停止運轉?！?br>
因為設備的停機時間一直是關注的焦點，新的氣體配送系統使一些工業供應商加強他們的現場制氣服務以管理物流，并解決潛在的問題。例如，在過去的一年里，AirLiquide公司推出一種稱為FabGenius的產品服務。這個系統不僅采集數據，而且學習什么是特定系統的正常操作，什么不是。Lauzon說：“它的用途是區分真正的和虛假的警報，或者分辨怎樣的問題會發展并惡化。有時候，監測系統會發送一個誤差引起的警報。FabGenius將能夠確定哪些屬于正常誤差范圍，而哪些需要引起注意。這樣可以減少警報數量，甚至可以幫助引起管理人員對正在發生并需要注意的問題的警覺。”
正如Lauzon指出的，控制室是接收關于氣體配送系統的數據的地方，通常只是靜態接收數據的區域。數據被發送到控制室，達到預設的閾值時報警。Lauzon說：“通常，客戶擁有某種監控系統，其加工基地中的配送中心的某些關鍵參數被送到控制室。但是那只是監測系統在監視并報警，但是它并不思考。當某些地方出錯時它僅僅發出警報。擁有了FabGenius系統，Air Liquide表示正在著手下一步的發展。
一套在動力站房里工作的Air Liquide的大宗氣體配送系統
