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掃描與透射電子顯微鏡的效果有什么不同?

2023年01月04日 08:45:51      來源:上海雙旭電子有限公司 >> 進入該公司展臺      閱讀量:22

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掃描與透射電子顯微鏡的效果有什么不同?

1、1932年,魯斯卡發(fā)明了以電子束為光源的透射電子顯微鏡(TEM)。電子束的波長遠短于可見光和紫外光,電子束的波長與發(fā)射電子束電壓的平方根成反比。也就是說,電壓越高,波長越短。目前TEM的分辨率可達0.2nm。它與成像原理基本相同,區(qū)別在于前者以電子束為光源,以電磁場為透鏡。此外,由于電子束的穿透力很弱,因此用于電鏡的標(biāo)本必須制成厚度約50nm的超薄切片。這種切片需要用(超薄切片機)制作。電子顯微鏡的放大倍數(shù)可達近百萬倍,由電子照明系統(tǒng)、電磁透鏡成像系統(tǒng)、記錄系統(tǒng)、電源系統(tǒng)五部分組成。 2.(掃描電子顯微鏡,SEM)于1960年代問世,用于觀察試樣的表面結(jié)構(gòu)。其工作原理是用極細的電子束掃描樣品,激發(fā)樣品表面的二次電子。二次電子的數(shù)量與電子束的入射角有關(guān),也就是說與樣品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān)。探測器被那里的閃爍體收集并轉(zhuǎn)換成光信號,再通過和放大器轉(zhuǎn)換成電信號,以控制熒光屏上電子束的強度,并顯示與電子束同步的掃描圖像。圖像為三維圖像,反映了試樣的表面結(jié)構(gòu)。為了使試樣表面發(fā)射二次電子,在試樣固定脫水后,噴灑一層重金屬顆粒,重金屬在電子束的轟擊下發(fā)射二次電子信號。目前分辨率為6-10nm,人眼可以分辨熒光屏上相距0.2mm的兩個光點,因此*大有效放大倍數(shù)為0.2mm/10nm=20000X。 ?

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