以下是引用片段:
tag:濕度傳感器
除了上述的電阻控制型半導(dǎo)體氣敏器件,目前還有一種非電阻控制型半導(dǎo) 體氣敏器件。 這類器件雖然還未廣泛應(yīng)用,但由于可以利用半導(dǎo)體平面 工藝,能做出小型、集成化、重復(fù)性、互換性和穩(wěn)定性都很好的半導(dǎo)體氣 敏器件,受到日益里視。 1. 二極管氣敏器件 當(dāng)金屬和半導(dǎo)體接觸形成肖特基勢(shì)壘時(shí)構(gòu)成金屬半導(dǎo)體二極管。在這種金屬 半導(dǎo)體二 極管附加正偏壓時(shí),從半導(dǎo)體流向金屬的電子流將增加;如釆附加 負(fù)偏壓時(shí),從金屬流向半 導(dǎo)體的電子流幾乎沒有變化,這種現(xiàn)象稱為二極管 的整流作用。如果在二極管的金屬與半 導(dǎo)體的界面吸附有氣體且這種氣體 對(duì)半導(dǎo)體的禁帶寬度有影響,則二極管的整流特性就會(huì) 發(fā)生變化,根據(jù)這個(gè)原理 就可以制作氣敏傳感器。 |