超純水處理系統是指從普通自來水至超純水制備的完整生產系統，包括預處理系統、RO系統、制成系統和拋光系統四個子系統。在TFT-LCD生產中，整個生產工藝流程復雜，需要檢測和控制的信號繁多，再加上系統對穩定性、可靠性的高要求，因此需要采用現代化自動控制系統實現超純水系統控制。純水設備設計一整套基于西門子PLC的超純水處理控制系統，通過集成*PLC冗余技術、網絡技術、現場總線、組態軟件等技術，滿足超純水自動化系統對穩定性、可靠性、便于監控性等的全面系統控制要求。國內外超純水控制系統的發展概況超純水最初為美國科技界因研制超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)提出了超純水的生產。早期超純水的求主要來自于發電、醫藥、化工、造紙等行業，水質要求相對較低，其制備主要采用離子交換系統。
隨著半導體工業的發展，純水設備對超純水質量要求不斷提高，超純水的定義也發生了迅速的變化。純水的離子泄漏量要求為5ppb(微克/升)，七十年代中期已提高到1ppb，進入八十年代后，這個目標已向0.1ppb邁進。到九十年代，膜技術得到廣泛應用，微濾、超濾、電滲析和反滲透RO等*的水處理技術得到長足發展，RO-混床系統取代了傳統的離子交換系統，滿足了諸如TFT-LCD等行業對純水質量要求，從而大大推動了純水技術的發展。在七八十年代，不論是離子交換法還是反滲透法的超純水處理，其控制系統主要采用DCS(DistributedControlSyestem)分散控制系統。DCS系統需要第三方儀表或控制系統按其專用協議與DCS通訊，開放性差。90年代后，隨著PLC控制功能增強，功耗和體積減小，成本下降，可靠性的提高，且其編程和故障檢測也更為靈活方便。而且隨著分布式I/O和現場總線通信網絡的發展，PLC數據處理能力的發展，使PLC成為工業生產自動化產業的一大支柱。超純水處理控制系統也逐漸從DCS控制系統過渡到采用PLC的現場總線控制系統。
