手持式四探針測試儀 硅材料電阻率測試儀
型號：SN/RTS-3
RTS-3型手持式四探針測試儀體積小，精度高，測量范圍寬，運用四探針原理能夠測量硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻。
技術參數：
測量范圍 | 電阻率：0.01～1999.9Ω.cm； |
恒流源 | 電流量程分為100μA、1mA兩檔，兩檔電流連續可調 |
數字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； |
四探針探頭基本指標 | 間距：1±0.01mm； 針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 機械游移率：≤0.3%； |
四探針探頭應用參數 | (見探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測量相對誤差 | 1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
整機測量zui大相對誤差 | (用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5% |
整機測量標準不確定度 | ≤5% |
外型尺寸 | 185mm(長)90mm(寬)30mm(高) |
重量 | 350g |
電源 | 鋰電池，一次充電可連續使用100小時； |
標準使用環境 | 溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65%； 無高頻干擾； 無強光直射 |
適用場所：
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。
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